Precision Nanometrology: Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing - Springer Series in Advanced Manufacturing - Wei Gao - Libros - Springer London Ltd - 9781849962537 - 28 de junio de 2010
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Precision Nanometrology: Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing - Springer Series in Advanced Manufacturing 2010 edition

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Precision Nanometrology describes the new field of precision nanometrology, which plays an important part in nanoscale manufacturing of semiconductors, optical elements, precision parts and similar items.


367 pages, 3 black & white tables, biography

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 28 de junio de 2010
ISBN13 9781849962537
Editores Springer London Ltd
Páginas 354
Dimensiones 241 × 165 × 28 mm   ·   635 g
Lengua Inglés  

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