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Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study: Design of Volatile Non-halogenated Precursors for the Chemical Vapor Deposition (CVD) of Copper German edition
Rolf Claessen
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Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study: Design of Volatile Non-halogenated Precursors for the Chemical Vapor Deposition (CVD) of Copper German edition
Rolf Claessen
212 pages
| Medios de comunicación | Libros Paperback Book (Libro con tapa blanda y lomo encolado) |
| Publicado | 29 de agosto de 2002 |
| ISBN13 | 9783831142743 |
| Editores | Books on Demand |
| Páginas | 212 |
| Dimensiones | 189 × 246 × 11 mm · 386 g |
| Lengua | German |
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