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Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography: XIII (Proceedings of SPIE)
Singh
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography: XIII (Proceedings of SPIE)
Singh
1052 pages, illustrations
Medios de comunicación | Libros Paperback Book (Libro con tapa blanda y lomo encolado) |
Publicado | 30 de junio de 1999 |
ISBN13 | 9780819431516 |
Editores | SPIE Press |
Páginas | 1052 |
Dimensiones | 1,74 kg (Peso (estimado)) |