Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems - Francis E H Tay - Libros - Springer-Verlag New York Inc. - 9781441953032 - 3 de diciembre de 2010
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Francis E H Tay
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2002 edition

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Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.

328 pages, 176 black & white illustrations, biography

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 3 de diciembre de 2010
ISBN13 9781441953032
Editores Springer-Verlag New York Inc.
Páginas 299
Dimensiones 155 × 235 × 17 mm   ·   458 g
Lengua Inglés  
Editor Tay, Francis E. H.

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