CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications - Microtechnology and MEMS - D. Lange - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540431435 - 23 de julio de 2002
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D. Lange
CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications - Microtechnology and MEMS 2002 edition

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This book is intended for scientists and engineers in the field of micro- and nano electro-mechanical systems (MEMS and NEMS) and introduces the development of cantilever-based sensor systems using CMOS-compatible micromachining from the design concepts and simulations to the prototype.

142 pages, biography

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 23 de julio de 2002
ISBN13 9783540431435
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 142
Dimensiones 166 × 243 × 14 mm   ·   340 g
Lengua Inglés  

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